单极脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
其优点是能明显改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高膜层质量。
输出波形为单极脉冲。
电源具有平均电流稳流功能。
品名 | 脉冲磁控电源 | |
型号 | BP系列 | |
输入 | 相数 | 三相+N |
电压 | 380V | |
频率 | 50Hz | |
输入方式 | 4线（含零线） | |
输出 | 波形 | 脉冲 |
功率 | 10KW~100KW（可定制） | |
电压 | 0—1200V（可定制） | |
稳定度 | ≤1% | |
电流 | 0— | |
稳定度 | ≤1% | |
纹波及杂讯 | ≤2% | |
效率 | ≥90% | |
控制 | 控制方式 | 标准方式：恒压/高低压切换 |
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 | ||
控制接口 | 标准方式：面板手动 | |
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) | ||
保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
冷却 | 风冷或水冷 | |
外型 | 防护等级 | IP21 |
单元尺寸 (W*D*H) | 箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X280(H) | |
重量 | ||
备注 | | |