直流磁控溅射电源用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
品名 | 直流磁控溅射电源 | |
型号 | MSD系列 | |
输入 | 相数 | 三相+N |
电压 | 380V | |
频率 | 50Hz | |
输入方式 | 4线（含零线） | |
输出 | 波形 | 直流 |
功率 | 20kW~200KW（可定制） | |
电压 | 0—1200V（可定制） | |
稳定度 | ≤1% | |
电流 | 0— | |
稳定度 | ≤1% | |
纹波及杂讯 | ≤5%或≤3% | |
效率 | ≥90% | |
控制 | 控制方式 | 标准方式：恒流 |
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 | ||
控制接口 | 标准方式：面板手动 | |
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) | ||
保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
冷却 | 风冷或水冷 | |
外型 | 防护等级 | IP21 |
单元尺寸(W*D*H) | 箱体：440(W)X220(H)X560(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X248(H) | |
重量 | 约30KG（30KW） | |
备注 | ||